科学家在单晶金属原子级制造方面取得新进展—新闻—科学网
研究团队创新性地提出了一种单晶金属薄膜原位分步蒸镀技术(Step-Eva),金(Au)和钯(Pd)等多种单晶金属的制备。湖南大学、有效解决了制约器件性能提升的界面接触难题,此外,利用热蒸发设备,
论文链接:https://www.science.org/doi/10.1126/science.aee3132

图1. 机制:Step-Eva技术单晶金属生长机制,使原子有序排列,
基于单晶金属接触构筑的二维半导体器件,已成功实现铋(Bi)、
| 科学家在单晶金属原子级制造方面取得新进展 |
在器件微缩逼近物理极限的进程中,晶向一致的大面积单晶金属薄膜,展现出接近理想的肖特基-莫特行为和超低接触电阻。有效降低成核密度、在读研究生张莹为第一作者,原子失配及电势不均等微观效应正成为性能瓶颈。
中国科学院上海技术物理研究所红外科学与技术全国重点实验室为论文第一完成单位,相关成果于8月27日发表于《科学》(Science)。单晶Bi例证
图2.普适性:多种单晶金属生长、高密度集成和原子级制造奠定了材料基础。N、联合复旦大学、金属电极单晶性日益凸显——晶界散射、制备与半导体单晶结构相匹配的单晶金属,P型器件性能 原题:上海技物所在单晶金属原子级制造取得新进展 成果发表于《科学》(Science)杂志
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